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第三百八十一章 攻坚破局 工艺突围（第1页）

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攻坚破局工艺突围（攻坚破局工艺突围（第22页）技术负责人凑过来看了一眼，恍然大悟：“对啊！我们怎么没想到这一点！张博士，你这一下就点醒了我们！”“事不宜迟，立刻调整实验方案，今晚就做实验！”张远方大手一挥，语气斩钉截铁。夜幕降临，实验大楼里依旧灯火通明。外延生长炉的温度，缓缓攀升到1200摄氏度。通红的炉膛里，碳化硅衬底静静地躺着，接受着高温的淬炼。张远方和技术团队的成员们，守在监控屏幕前，眼睛一眨不眨地盯着各项参数的变化。时间一分一秒地过去，每一秒都显得格外漫长。两小时后，退火工序结束。衬底被取出，经过清洗、烘干，送入外延生长炉。气体流量精准调控，温度缓慢上升，外延层在衬底表面，一点点地生长。监控屏幕上，代表平整度的曲线，渐渐变得平稳、光滑，波动范围，稳稳地控制在了005微米以内！“成了！成了！”技术负责人激动地大喊起来，声音里带着哭腔。实验室里，一片欢呼雀跃。张远方看着屏幕上的曲线，长长地舒了一口气，紧绷的肩膀，终于松弛下来。他转过身，看到站在门口的黄江北，脸上露出了疲惫却灿烂的笑容。黄江北快步走上前，紧紧握住他的手：“张博士，辛苦了！谢谢你！”“这是我们团队一起努力的结果。”张远方摇了摇头，随即又想起了什么，“对了，黄市长，我那两个师弟，已经答应来沪上了！他们明天就到！”“太好了！”黄江北的脸上，满是喜悦，“我已经让人安排好了办公室和实验室，就等他们来大展身手！”窗外，夜色正浓，星光璀璨。实验大楼的灯光，如同夜空中最亮的星，照亮了沪上科技创新的道路。张远方看着身边欢呼的团队成员，看着眼前意气风发的黄江北，心中涌起一股强烈的自豪感。他知道，这只是一个开始。在沪上这片热土上，他们还有更多的难题要攻克，还有更长的路要走。但他更相信，只要他们齐心协力，就没有跨不过的坎，没有攻不破的关。第三代半导体的量产之梦，正在这片土地上，缓缓绽放。

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